Information
1.光学設計受注
- 投影レンズの光学設計
- 平行平板レンズから設計する自動設計ソフト使用
- 硝材の光吸収によるピント移動 計算及び改善設計
- 製作・組立精度による不良率の計算及び改善設計
- 温度ピント移動の計算及び改善設計
- （露光用） 照明系設計
- フライアイ、ロッドレンズ、角柱のインテグレータ
- 照度分布計算 及び改善設計
- ゴーストシミュレーション
- プロキシミティ露光の2次元回折照度分布計算
- FS設計と本格設計に分けて受注。 FS設計は本格設計の仕様等の受注条件を確定するために行います
2.光学設計ソフト販売
- 投影レンズ自動光学設計。平行平板レンズ（あるいは参考レンズ）より自動設計開始
- オプションソフト。公差解析、ズームレンズ設計
- 公差解析。主に、製作・組立バラツキによる不良率シミュレーション
- ズームレンズ設計。定点ズーム、ズーム変数の距離・倍率区別無し〜完全分離。ズームデータの詳細化、平滑化。
- 初回のみ御社仕様の一例について設計及び手順書作成援助
